真空测试

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.极限真空度测试：系统可达到的最低稳定压强测量，背景气体成分分析。

2.抽气速率测定：在不同压强区间对主泵、前级泵的抽气效率进行标定与评估。

3.漏率检测与定位：氦质谱检漏，确定系统总漏率，并对疑似漏点进行精确定位。

4.空载抽气曲线测试：记录从大气压抽至极限真空的全过程时间与压强关系曲线。

5.负载抽气性能测试：模拟工艺气体负载或实际镀膜源工作时的系统抽气与压强控制能力。

6.真空室体密封性测试：对腔体焊缝、法兰接口、观察窗等静态密封部件的密封性能进行考核。

7.真空保持测试：在系统停机隔离后，监测其内部压强随时间的变化，评估密封可靠性。

8.材料放气率测试：测量腔体内壁、夹具、工件等材料在真空环境下的气体释放速率。

9.真空测量系统校准：对各类真空规管（如热偶规、电离规）的读数准确性进行比对与校准。

10.真空阀门密封与响应测试：测试高真空阀、挡板阀、充气阀的密封等级及开关动作响应时间。

11.系统清洁度评估：通过残余气体分析，评估真空室内烃类、水汽等污染物的含量水平。

12.真空系统稳定性测试：长时间运行监测，评估真空度波动、漂移及重复性。

检测范围

涡轮分子泵、旋片真空泵、干式螺杆泵、罗茨真空泵、油扩散泵、真空镀膜主机腔体、多弧离子镀腔体、磁控溅射腔体、行星式工件架、阴极电弧源、磁控溅射靶、真空插板阀、翻板阀、充气阀、冷阱、各种规格的金属密封法兰、高精度电离真空计、电容薄膜规

检测设备

1.氦质谱检漏仪：用于真空系统及部件的微小漏率精确检测与定位；灵敏度极高，可检测至极低漏率范围。

2.高精度电离真空计：用于测量高真空至超高真空范围的压强；具备自动量程切换和温度补偿功能。

3.电容薄膜真空计：用于中高真空范围的绝对压强测量；精度高，稳定性好，与气体种类无关。

4.四极杆残余气体分析仪：用于分析真空系统中的气体成分与分压强；可识别水汽、氮气、氩气及各类碳氢化合物。

5.标准漏孔：作为检漏仪的校准基准，提供已知且恒定的标准漏率；用于系统校准与检测灵敏度验证。

6.抽速测试罩：配合流量计与真空计，用于测量真空泵在特定入口压强下的有效抽气速率。

7.真空校准系统：通过静态膨胀法或比较法，对工作用真空计进行量值传递与校准；建立压强测量标准。

8.数据采集与记录系统：实时同步采集多路真空计、温度传感器信号；自动绘制抽气曲线与稳定性监测图表。

9.高温烘烤系统：用于对真空腔体进行加热烘烤，以加速材料脱气，评估系统在高温下的性能与密封。

10.气密性测试工装：针对阀门、密封件等独立组件设计专用夹具，实现快速、隔离的密封性能检测。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器资质